[미리보는 ENTECH] 반도체 공정 폐가스 저감 시스템, 영진 아이엔디(YOUNG JIN IND)

반도체 공정 폐가스 저감 시스템, 영진 아이엔디(YOUNG JIN IND)

대학생신재생에너지기자단 22기 류나연

 

1. 기업소개

[자료 1. 영진아이엔디 로고 ]

 

[자료 2. 영진아이엔디 전경 사진 ]

 

1999년 설립된 영진아이엔디(주) 는 반도체 장비 전문기업으로, 우수한 연구진과 독보적인 기술력을 통해 High-Plasma Scrubber를 개발하여 SK Hynix 반도체, LG 필립스 LCD, DBHiTek 등 국내는 물론 중국, 대만 등 해외유명 반도체 기업으로부터 그 실력을 인정 받고 있는 기업이다.

플라즈마 스크러버(Plasma Scrubber)의 세계적인 선두주자인 "영진아이엔디(주)"는 다음 세대를 위해 우리의 지구를 훨씬더 깨끗한 환경으로 만드는 것을 목표로 하고 있다.

뿐만 아니라, 짧은 기간동안 눈부신 성장을 거듭해온 영진아이엔디(주)는 축적된 기술력을 바탕으로 향후 반도체 장비 분야에서 우위를 차지할 수 있는 핵심 기술인 최첨단, 초정밀, 초소형 장비 기술개발에도 앞장서고 있다.

 

2. 사업영역

[자료 3. Plasma Scrubber 제품 사진 ]

 

Plasma Scrubber (PFCs Scrubber)는 반도체 제조 공정 또는 가스를 이용하는 산업에 사용되는 여러가지 유형의 유해 가스들을 안전하게 처리하여 대기배출 허용농도 이하로 배출시키는 장비이다.배출된 가스(폐 가스)는 Plasma Unit에서 처리되며 특히 PFCs 가스는  Plasma Torch에서 분해된 후 부산물 및 수용성 가스들과 함께 Wet Tower에서 처리되는 방식이다. 특히, CVD, Diffusion, Etching 등의 반도체 제조 공정에서 배출된 불소, 염소, 수소 화합물 및 유해 가스들을 안전하게 처리한다.

제품의 특징은 아래와 같다.

• 높은 분해처리율
• 탁월한 유해가스 처리 가능
• Scrubber 내 Clogging 방지용 압력 자동제어 (PLC제어)
• 간편한 설치 및 경제적인 유지보수 비용
• CO2 발생 방지 (연료 GAS 불필요)

적용 공정 및 GAS는 다음과 같다.

• 반도체/LCD 전 공정
• 적용가스 : PFCs가스를 포함한 All Process GAS

 

[자료 4. Plasma Scrubber 제품 사양 ]

 

[자료 5. Plasma Scrubber Utility 사양 ]

 

제품구성별 특징을 하나씩 설명하자면 다음과 같다.

Thermal Plasma Decompsition - Thermal Plasma 내에서 유해가스의 완벽한 분해처리

Spray Quenching/Absorption - 물분사를 이용한 By-Product의 탁월한 제거 효과

Auto Power Drain - 폐수의 원활한 배출

Gas Vent - Powder, Water, Mist 배출의 최소화

Pressure Control - PID 방식의 압력 제어로 장비내 정확한 압력 측정 및 파우더 고착 방지

Auto Control System - PLC기반 Touch Screen Display,  Auto/Manual 동작 및 간편한 조작, 이상 발생시 Error 표시 및 History 저장 기능, 빠른 응답속도와 정확성을 갖는 PLC Control

By-Pass Function - 3-way Pneumatic 밸브를 이용한 처리가스 자동 유도

 

3. 홈페이지 주소

영진아이엔디㈜ (youngjinind.co.kr)

 

영진아이엔디의 Plasma Scrubber는 오는 8월 31일부터 9월 2일까지 부산 BEXCO에서 진행되는 '2022 국제환경에너지산업전(Environment & Energy Tech 2022)'에서 선보일 예정이다.